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半导体检测用显微镜单元FS-70型
型号:FS70Z/FS70ZD/FS70L/FS70L4/FS70Z-TH/FS70ZD-TH/FS70L-TH/FS70L4-TH


产品介绍

FS-70系列 半导体检测用显微镜单元

带目镜观察的小巧型显微镜单元。

适用于采取YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)进行微细加工*。

无法保证配有激光系统产品的性能及安全性。

支持红外光学系统。

晶体硅的内部观察,红外光谱特征分析等。

另外需要红外光源和红外像机。

拥有支持明视场、暗视场、偏振光及微分干涉对比观察型号的产品。

内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。

技术参数

标准目镜规格

型号

FS70Z

FS70ZD

FS70L

FS70L4

货号

378-165-1

请咨询

378-166-1

378-167-1

可变角度目镜规格

型号

FS70Z-TH

FS70ZD-TH

FS70L-TH

FS70L4-TH

货号

378-165-3

请咨询

378-166-3

378-167-3

正立正像

观察成像

BF (明视场)

BD (明/暗视场)

偏振光

微分干涉对比(DIC)

光学镜筒类型

10X(视场数24)、20X(视场数12)

镜筒

三眼镜筒

视场数

24 mm

可调瞳距

西登托夫型,瞳距调节范围 51 ~ 76mm

俯角

0º - 20º (仅限-TH),眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV=50% / 50%)

切换式

(目镜/管径=100%/ 0% : 0% / 100%)

固定式*3

(目镜 / TV=50% / 50%)

切换式

(目镜 / 管径=100% / 0% : 0% / 100%)

相机接口

C-mount (使用适配器B*1) 使用适配器B齐焦调整

C-mount (齐焦调整机构)

C-mount插座(带绿色滤光片切换功能)(齐焦调整机构)

防护滤光片

内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜

内置1X - 2X变焦(可见光校正)

内置1×(近红外-可见-近紫外校正)

内置1×(可见光/紫外校正)

激光接口

使用激光

放大倍数:1X

波长:355/532/1064 nm

放大倍数:1X 波长:266/532 nm

相机接口

YAG激光振荡器

(基波,二次/三次谐波)可安装

YAG激光振荡器

(二次 /四次谐波)可安装

对焦部

粗微动

单轴粗动(粗动:3.8mm/1转,微动:0.1mm/1转)

移动量

50mm、左右手柄

反射照明光学系统

用于明视场的反射照明(科勒照明,带孔径光阑)

照明装置(选件)

12V、100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V、150W光纤照明装置(No.176-316DC)全无级调光,光导长度=1500mm

转塔(必选)

调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔

物镜(必选)

观察用

M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

M Plan Apo M Plan Apo

HR M Plan Apo SLG Plan Apo

激光加工用

NIR 系列

NUV 系列

* 从激光振荡器

使用的波长中选择

UV 系列

承重*2

约14 kg (-TH: 13.2 kg)

约13.9 kg (-TH: 13.1 kg)

主机质量

约6.6 kg (-TH: 7.4 kg)

约6.7 kg (-TH: 7.5 kg)

日本三丰Mitutoyo公司
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