ABS AT1300 封闭式光栅尺
可满足高精度化的要求
实现了**式栅尺最小分辨力0.001μm。
形状细长,可实现省空间的设计。(与AT500-S、AT500-H可互换安装。)
抗油污性及表面耐划伤性能大大提升
与采用摄像为检测原理的传统光学式产品相比,抗污性更优异。
技术参数
ABS AT1300
高刚性型
高精度型
检测方式
光电式(双远心光学系统)
最大有效测量长度
2.2m
1m
分辨力
0.001/0.01/0.05μm
指示精度(20℃) L:有效测量长度(mm)
3+3L/1000µm
2+2L/1000µm
最大响应速度
3m/s
截面尺寸
23×66mm
24×64.5mm
适用接口※1
FANUC株式会社 αi串行接口
三菱电机株式会社 高速串联接口