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非接触3D测量机HYPER QV WLI型
型号:Hyper QVWLI 302/Hyper QVWLI 404/Hyper QVWLI 606


产品介绍

HYPER QV WLI系列 非接触3D测量机

HYPER QV WLI配备白光干涉仪的复合型高精度3D测量系统。

可根据WLI光学系统获取的3D数据进行表面形状分析/三维粗糙度分析。还可根据3D数据进行指定高度的尺寸测量和截面形状测量。

产品型号

型号

测量范围:X轴最大(mm)

Y轴最大(mm

Z轴最大(mm)

Hyper QVWLI 302

300200190

Hyper QVWLI 404

400400240

Hyper QVWLI 606

600650220

技术参数

名称

Hyper QVWLI 302

Hyper QVWLI 404

Hyper QVWLI 606

标准机型

QVW-H302P1L-D

QVW-H404P1L-D

QVW-H606P1L-D

测量范围 [mm]

影像测量

300×200×190

400×400×240

600×650×220

WLI 测量

215×200×190

315×400×240

515×650×220

观察装置※1

程控电动转塔 1X - 2X - 6X

照明装置

透射照明

白色LED

垂直反射照明

白色LED

程控环形照明

白色LED

WLI 光学测头

卤素

光栅尺分辨力 [µm]

0.01

影像测量精度[µm]※2

E1X,E1Y

(0.8+2L/1000)

E1Z

(1.5+2L/1000)

E2XY

(1.4+3L/1000)

精度保证光学条件

2.5倍物镜(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X)+中倍镜筒透镜

WLI Z 轴最大测量范围

QVWLI A-5X, QVWLI A-10X: 6.3 mm, QVWLI A-25X: 3.2 mm, QVWLI A-50X: 1.0 mm

WLI Z 轴重复精度 [µm]※2

2σ ≤0.08

日本三丰Mitutoyo公司
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