测量范围：X轴最大（mm）

Y轴最大（mm

Z轴最大（mm）

ULTRA 404

名称

ULTRA QV 404

标准机型

QV-U404P1N-D

QV-U404T1N-D

测量范围 [mm]

400×400×200

观察装置※1

程控电动转塔 1X - 2X - 6X

跟踪自动对焦装置

—

√

照明装置

透射照明

卤素

垂直反射照明

卤素

程控环形照明

卤素

光栅尺分辨力 [µm]

0.01

影像测量精度

[µm]※2

E1X,E1Y

（0.25+L/1000）

E1Z（50 mm 行程）

（1.0+2L/1000）

E1Z（全行程）

（1.5+2L/1000）

E2XY

（0.5+2L/1000）

激光自动对焦重复精度 [µm]

—

σ ≤0.8