CS-3300系列 表面性状测量机
CS-3300搭载宽范围 & 高分辨力的检出器，可应对从轮廓测量到表面粗糙度测量的广泛需求。
宽范围 & 高分辨力检出器：
测量范围：Z轴方向 5 mm量程(分辨力：80 nm)～0.05 mm量程(分辨力：0.8 nm)
指示精度：Z轴方向 ±(1.5＋│2Ｈ│/100)μm, Ｈ＝从水平位置开始的高度(mm)
进给装置(X轴)上搭载了高精度线性栅尺，立柱(Z2轴)上搭载了ABS(**原点)栅尺，因此可以组合上下、左右动作进行全自动测量。对于难以进行上下方向连续自动测量及定位的工件，提高了其反复测量的再现性。
检出器采用滑动机构，根据测量工件的形状，在不干扰驱动器的测量区域也可以进行测量。检出器、驱动器等的电缆全部配线在主机内部，消除了会导致测量误差的配线摩擦，实现高速驱动。
产品型号
| 型号 | X轴测量范围(mm) | Z1轴测量范围(μm) | |
| CS-3300S4 | 100 | 5 | 300 |
| CS-3300H4 | 100 | 5 | 500 |
| CS-3300W4 | 100 | 5 | 500 |
| CS-3300L4 | 100 | 5 | 700 |
| CS-3300S8 | 200 | 5 | 300 |
| CS-3300H8 | 200 | 5 | 500 |
| CS-3300W8 | 200 | 5 | 500 |
| CS-3300L8 | 200 | 5 | 700 |
技术参数
型号 | CS-3300S4 | CS-3300H4 | CS-3300W4 | CS-3300L4 | CS-3300S8 | CS-3300H8 | CS-3300W8 | CS-3300L8 |
测量范围 | X轴 | 100 mm | 200 mm |
Z1轴(检出器) | 5 mm(从水平状态起±2.5mm) |
测长单元 | X轴 | 高精度线性编码器 |
Z1轴(检出器) | 差动电感方式 |
Z2轴(立柱) | ABS线性编码器 |
分辨力 | X轴 | 0.05µm |
Z1轴(检出器) | 0.08 µm/5mm 0.008 µm/0.5mm 0.0008 µm/0.05mm |
Z2轴(立柱) | 1 µm |
X轴倾斜角度 | ±45° |
Z2轴(立柱)移动范围 | 300 mm | 500 mm | 700 mm | 300 mm | 500 mm | 700 mm |
驱动速度 | X轴 | 程控：0～80 mm/s JOY操作：0～40 mm/s |
Z2轴(立柱) | 程控：0～30 mm/s JOY操作：0～30 mm/s |
测量速度 | 粗糙度测量 | 0.02、0.05、0.1、0.2 mm/s |
轮廓测量 | 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s ※建议在测量速度5 mm/s以下进行测量。 (如果测量速度过快，根据表面性状可能会导致测针的触针部缺损或测量精度恶化) |
直线度(X轴水平姿势时) | 通常状态：0.2 µm/100 mm 检出器 最大伸出状态：0.4 µm/100 mm | 通常状态：0.6 µm/200 mm 检出器 最大伸出状态：1.2 µm/200 mm |
指示精度 (20°C) | X轴 | ±(0.8+0.01L)µm L=驱动长度(mm) 宽范围：1.8 µm/100mm 窄范围：1.05 µm/25mm | ±(0.8+0.015L)µm L=驱动长度(mm) 宽范围：3.8 µm/200mm 窄范围：1.2 µm/25mm |
Z1轴(检出器) | ±(1.5+|2H|/100)µm H=从水平位置开始的测量高度(mm) |
测针上下动作 | 圆弧运动 |
测量方向 | 拉、推两个方向 |
测量面方向 | 下方向 |
测力 | 0.75 mN |
跟踪角度 (使用标配附带的圆锥测针时) | 上升角65° 下降角65°(根据表面性状) |
测针前端 | 标准测针 | 针尖半径2 µm、针尖角度60°、金刚石(表面粗糙度/轮廓形状用) |
圆锥测针 | 针尖半径25 µm、针尖角度30°、蓝宝石(轮廓形状用) |
底座尺寸(W×D) | 600×450 mm | 1000×450 mm | 600×450 mm | 1000×450 mm |
底座材质 | 花岗岩 |
外观尺寸 | 主体 | W | 759 mm | 759 mm | 1159 mm | 1159 mm | 769 mm | 769 mm | 1169 mm | 1169 mm |
D | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 492 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 492 mm |
H | 966 mm | 1166 mm | 1176 mm | 1430 mm | 966 mm | 1166 mm | 1176 mm | 1430 mm |
控制器(W×D×H) | 221×346×472 mm |
操作盒(W×D×H) | 248×102×62 mm |
质量 | 主体 | 140 kg | 150 kg | 220 kg | 270 kg | 140 kg | 150 kg | 220 kg | 270 kg |
控制器 | 14 kg |
操作盒 | 0.9 kg |
除振台 | 除振机构 | 隔膜式空气弹簧 |
供给气压 | 0.4～0.7 MPa |
最大负载 | 250 kg | 350 kg | 250 kg | 350 kg |
外观尺寸(W×D×H) | 830×800×700 mm | 1280×940×700 mm | 830×800×700 mm | 1280×940×700 mm |
质量 | 155 kg | 240 kg | 155 kg | 240 kg |
精度保证温度范围 | 20°C±1°C |
精度保证温度梯度 | 2.0°C/8 h |
运行温度范围 | 5～40℃ (校准时和测量时的温度变化在±1℃以内) |
使用湿度范围 | 20～80%RH(无凝结) |
存储温度范围 | -10～50℃ |
存储湿度范围 | |
