516系列 阶差规
从量块No.1到No.5，每个阶差的高度逐渐降低。
使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
可选用钢制型或陶瓷型。
高度差由相邻阶差的中心测得。
技术参数
钢制型
货号
516-198
516-199
量块号
1
2
3
4
5
累积阶差 (µm)
0
10
15
17
18
300
400
450
470
相邻量块阶差值 (µm)
100
50
20
陶瓷型
516-498
516-499
外形尺寸
