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CAS: 7783-63-3
分子式: TiF4
分子量: 123.89
熔点: >400°C
密度: 2.798 g/cm3
中文名称: 
四氟化钛
英文名称: 
cefuroxime,free acid
titanium tetrafluoride
用途: 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线
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储存:室温 干燥
状态:白色到灰白色粉末
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