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CAS NO:7783-63-3
CAS:
7783-63-3
分子式:
TiF4
分子量:
123.89
熔点:
>400°C
密度:
2.798 g/cm3
中文名称:
四氟化钛
英文名称:
cefuroxime,free acid
titanium tetrafluoride
用途:
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线
