发生原理

渗透扩散质量流量混合法

质量流量控制器精确度

< ± 1% F﹒S

扩散管标准物质的扩展不确定度

< 2.1%

气体浓度范围

0~3.0 ppm

 气体扩展不确定度

< 2%

气体输入压力

0.4 MPa

系统通讯方式

RS232/RS485

系统显示

7” LCD液晶触摸屏

操作温度

5 ℃- 40℃

电源要求

AC220V 50Hz

外形尺寸

330(L) x 179(W) x 260(H)mm

重量

6kg