产品名称

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF2

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、工作台：落地式，占地面积2m²以上

4、通风装置：需要

主要特点

1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。

2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。

3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。

4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。

6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到**的镀膜环境，并便于用户维修与维护。

7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

技术参数

1、电源：AC220V 1500W

2、蒸发电源功率：1000W 5V 200A

3、蒸发电极有效距离：44mm

4、样品台：Ø120mm（可旋转）

5、膜厚测量精度：0.1 Å或0.01Å（可选配高精度型）

6、外接真空机组：分子泵机组（可选配GZK-101机组或GZK-103D机组）

7、极限真空度：3.0×10^-4torr（分子泵）

8、工作真空度：5.0×10^-3torr

9、真空接口：KF40

10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m

主机产品规格

尺寸：440mm×240mm×260mm；重量：约47kg