产品名称

VTC-200-CE半柜式清洗机

主要特点

1、不锈钢半柜式设计，触摸屏操作

2、透明观察窗，带排废和抽风功能

3、可移动式直线导轨清洗，行程可定制

4、最多可配备四路清洗或氮气吹干系统

5、可处理最大基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容

6、更大尺寸可定制

技术参数

1、旋转速度可调范围：20-10000rpm

2、加速度可调范围：0-50000rpm/s

3、标配直线导轨行程：100mm；最大移动速度:100mm/s

4、标配两路喷液系统，扇形或柱形喷嘴可选

5、标配10L不锈钢压力桶两只，其它规格可选

6、清洗液或氮气加温系统可选配

产品规格

尺寸：940mm(长)×800mm(宽)×1100mm（高）