tigeroptics HALO RP微量水分分析仪特点

　　设计用于减压条件下的微量分析，可用于检测气体中的H2O或HF, HALO RP提供

　　在惰性、酸性和氢化物背景气体中的低十亿分之一(ppb)检测能力

　　绝对测量(无校准气体)

　　广泛的动态范围-超过4个数量级

　　成本低，操作简单

　　清洁技术-无需外部校准气体

　　CRDS技术，采用SEMI-F112 06-13标准

　　tigeroptics HALO RP微量水分分析仪技术参数

　　入口气体压力 50 torr-15psig(0.07--2bara)

　　流量 0.1 to 1.0 slpm

　　样品气体 惰性气体、有毒气体、活泼或腐蚀性气体

　　气体温度 小于60℃

　　尺寸 高×宽×深（英寸mm）

　　传感器标准尺寸 8.73×8.57×23.6（222×218×599）

　　外壳尺寸 8.73×19×23.6（222×483×599）

　　仪器重量 28 Ibs （12.7kg）

　　报警指示 2个程序设定点，1个系统失效报警继电器

　　电源要求 90-240VAC，50/60HZ

　　电源功率 最大40Watts

　　操作界面 5.7“ LCD/触控屏

　　网络 10/100BaseT 以太网口，802.11g Wireless(选配)，RS-232