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WD-HS8中型精密加热台
型号:WD-HS8
仪器产地:国产加热板

产品介绍

设备简介

WD-HS8是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品,采用新颖的数字式加热设计,可以精准的控制表面温度;坚固耐腐蚀的铝合金面板,优异的导热性可以满足多种应用场景;数字式显示器可迅速编码准确控制温度;独立的防过热电路设计,确保实验安全。

产品特点

采用高精度微处理器,温度控制更加精确

可同时显示设定温度和实际温度,最高温度可达325℃

外观小巧精致,高度162mm,更适宜通风橱使用

结构简单,可靠性高,元器件均做防腐蚀处理加热部件与元器件分离设计,确保安全

应用场景

太阳能电池;微流控芯片;光刻工艺; 半导体工艺

参数规格

项目技术参数
温度范围RT~300℃
面板尺寸220×220mm
面板材质铝合金
样品尺寸≤8寸晶圆
温度均匀性≤±1.5%
温度稳定性±0.2℃
控温精度±0.2℃
烘烤方式接触式
加热功率800W
设备尺寸370(W)*260(D)*162(H)mm
净重10Kg
中研精仪(北京)科技有限公司
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