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高压电源TESC7080
型号:TESC7080


产品介绍

TESC7080系列电子卡盘高压电源适用于静电卡盘半导体加工应用,可在300ms内提供所需的精确电压,并在 80ms内切换极性。这些定制设计,精准调节在半导体制程过程中提供保护。可提供对地参考可逆输出极性,还可提供浮地双极输出并带有相关的浮地接口。综合的故障诊断电路监测电源功能,并将状态数据传送到用户界面。采用紧凑、轻便封装,可OEM。

典型应用:E-Chuck;静电卡盘。

产品特点

对地参考,可逆输出;

浮地,双极性输出;

极性可切换;

综合故障诊断;

高压安全联锁;

提供OEM 定制。

产品规格

输入电压

+24VDC±5%,最大 2A

输出极性

浮地,双极性输出,极性可切换

最大输出电压

0至±10kV

最大输出电流

3mA

最大输出功率

30W

电压调节

负载

转换速率

典型 80ms(40ms可定制)

最大循环频率

10Hz

过冲

<�设定值的10%

纹波

10Vrms

线路

在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1%

负载

从零到满负载<1.3%

上升和下降时间

上升时间(0V 至±2500V)和下降时间(±2500V 至0V)可分别编程,范围为300ms至 9.9s(在最终电压值的 1%以内)

电压显示

分辨率=1V。 精度=实际输出的±1%(±8V偏置)

电流显示

分辨率=1.25μ A。 精度=实际输出±100μ A偏移的±2%

典型负载电容

<20nF(对于其他负载电容,请咨询泰思曼)

保护

电弧和短路保护。配备输入和输出电流限制。输出电流限值可设置在0.1mA至3mA范围内。 连续电弧保护方式需定制

自动切换/解除卡盘功能

该装置具有手动和用户可配置的自动切换功能(消磁/去卡盘)

通信

通过 RS-232/RS-485 串行接口或以太网进行控制。串行接口可通过前面板配置为 RS-232或RS-485

注意

当以太网连接到 LAN 端口时,串行通信被禁用

前面板控制

具有用于本地控制的前面板按钮

切换

手动改变输出极性

输出开/关

软开关方式控制高压输出

旋转控制/输入

用于导航和输入值更改

稳定性

预热 1 小时后,在恒定操作条件下,<0.1%/小时,<0.2%/8小时

温度系数

每摄氏度<50ppm。 满载时<0.1%p-p,最大输出

环境温度工作时

0˚C至45˚C

环境温度储存时

-35˚C至 85˚C

湿度

0至85%RH,非冷凝

冷却

自然冷却

大连泰思曼科技有限公司
电话: 0411-84754522
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