LV-0383是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的3维显微镜测量单元。3台激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合，3轴方向对微小物体的振动进行非接触测。配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机，可以方便迅速地确定测量位置，并可记录静止画像。可以用于MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）等微小构造物，微小质量物体等，使用接触方式测量困难的超声波驱动的振动对象等，3轴同时进行振动现象的分析评价。
※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时
应用领域
- MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）的振动评价
- 压电元件的剪切应力的状态测量
- 超声波关联物体的振动测量
- 微小构造物的非接触3维振动测量
特长
- 可3维非接触测量振动频率范围0.3 Hz～100 kHz ※1
- 被测物与照射激光，经2个不同倍率（视野）的途径同时观测确定测量位置 ※2
- 激光焦点直径小φ4.5 µm以下可测量微小物体
- 配套激光多普勒振动仪LV-1800，LV-1710/LV-1720/1720A等
※1 100 kHz以上的分析需求可商谈对应
※2 LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时
系统组成
※ 100 kHz以上的分析需求可商谈对应
简要规格
配套激光多普勒振动仪 | LV-1800 LV-1710 LV-1720A LV-1720 |
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光学参数 | 检测器尺寸 | M22 X 0.5 长度 4 mm |
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| 测量距离 | 38.9 mm（使用物象镜头10 X时） |
| 焦点直径 | 4.5 µm |
观测装置 | CMOS数码相机 | 1280 x 960 (USB 2.0输出) |
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| 焦点调节单元 | 方式 | 手动粗调 / 微调 |
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| 上下调节 | 30 mm |
| 粗动调节 | 36 mm/R |
| 微动调节 | 0.2 mm/R |
| 伸延长度 | 100 mm |
| 脱落防护 | 装备脱落防护装置 |
基台 | 材料 | 铝制（配有上磁钢板） |
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| 尺寸 | 310 mm X 300 mm |
| 激光安全标准 | 激光安全等级 | 3R级 |
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| 3维光学系统 | 夹角 | 45° |
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| 夹角调整 | ±1° |
夹角调整 | ±1° |
| 扩展性 | 可2轴使用 |
| 激光焦点 | 各轴设置激光多普勒传感器分别实施 |
使用环境 | 使用环境 | 依照配套传感器 |
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| 重量 | 17 kg（不包括传感器） |
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