钨蚀刻剂TFW
| 货号: | TSA0505-1GAL | | 品牌: | Transene | | 参考价格: | 3800元 | | 交货期: | 现货 | | 试剂产地: | 进口试剂 |
产品介绍
本品为钼和钨的选择蚀刻剂，可用于半导体和微电子技术。TFM和TFW选择蚀刻剂是加有缓冲剂的呈中等碱性的氰化铁基蚀刻剂，其蚀刻图案分辩率高，边下蚀低，与光刻胶有良好匹配性。采用浸泡或喷涂技术可达到控制性均匀的蚀刻效果。
性质
| TFM钼蚀刻剂 | TFW钨蚀刻剂 | 外观 | 琥珀色水溶液 | 琥珀色水溶液 | PH | 10.0 | 8.0 | 稀释 | 用蒸馏水 | 用蒸馏水 | 可匹配光刻胶 | 阴性光刻胶：PKP（Transene） KMER\KTFR\KPR | 阴性和阳性光刻胶 | 冲洗 | 蒸馏水 | 蒸馏水 | 闪点 | 不可燃 | 不可燃 | 蚀刻速率 |
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| 20℃ |
| 30 Å /秒（浸泡） |
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| 80 Å /秒（喷涂） | 30℃ | 55 Å /秒 |
| 60℃ | 85 Å /秒 |
| 蚀刻能力 | 30g/加仑 | 64 g/加仑(10,000英寸2/5000 Å厚) |
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