有效尺寸：200*400mm (可根据要求进行尺寸订制)

真空度：6*10^-5Pa (可根据要求订制无油真空系统)

产品适用于真空时效退火,快冷

电子封装：IGBT封装,led共晶,焊膏工艺,高洁净焊片工艺,激光二级管封装,混合集成电路封装,管壳盖板封装,mems及真空封装