X向量程：100mm

Z向量程：320mm

Z1向量程：±0.5mm，±1.25mm，±2mm，±5mm

X轴精度：±（3+0.02L）μm

Z1轴精度：±0.15%f.s.

直线度：0.8μm/100mm

尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径

夹角：包含水平角、垂直角、夹角

位置公差：包含平行度、垂直度

形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度

辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆