快速退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），不但拥有非常快的升温速率，而且在烧结工艺运行完结后，直接将试样移动至室温下，实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的准确性。