产品优势

模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；

兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；

兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；

漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；

探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；

满足1um以上电极/PAD使用；

加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。
产品介绍
谱量根据客户实际应用需求，推出该款结构小巧，功能实用，性价比高的简易模块化探针台，该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、隔振平台等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、侧料电阻率测试以及搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。

技术参数

XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调

3um

可引出背电极

进口无油真空泵，7L/min

环形真空吸附

XYZ均13mm

3um（可选配升级1um，电动）

100fA(三同轴线缆)

可调磁力吸附（可升级真空吸附）

三同轴接口

双目体视显微镜（可升级金相显微镜）

~270倍（可选配升级更高倍数）

2000W高清，支持PC端通讯传输

140mm，升降范围270mm，总高度350mm

XY行程25mm/50mm，分辨率3um

22寸高清显示器，HDMI高清接口